離子風機對產(chǎn)品和設(shè)備的ESD性能和污染控制給予同樣的關(guān)注，潔凈室中的服裝和材料最好用靜電耗散材料制作，并可以接地?！逼渌男袠I(yè)，尤其是在磁頭驅(qū)動行業(yè)，采用了更多的潔凈室防靜電材料。過去，磁頭驅(qū)動行業(yè)僅在IC（芯片、微芯片）的生產(chǎn)中采用ESD控制技術(shù)。但現(xiàn)在已經(jīng)有更多的行業(yè)采用了ESD控制技術(shù)。
因為靜電放電（ESD）對精密電路、磁盤的影響，電子行業(yè)面臨著巨大的挑戰(zhàn)。它們每年將會損失數(shù)十億美元。僅僅5V的電壓都可能損壞那些微小精密的組件，小于100V的電壓可能使整個電子電路報廢。在受ESD影響的領(lǐng)域，潔凈室管理者們在生產(chǎn)線上都要考慮到由ESD引起的失效和損壞百分比。
然而，ESD控制材料又容易引起污染——靜電耗散材料是潔凈室中塵粒和化學污染的一個主要來源。為對ESD進行控制，潔凈室內(nèi)的物品都是由靜電耗散材料組成，能阻止ESD和靜電吸引。選擇適合潔凈室的防靜電離子風機用品是個很大的挑戰(zhàn)。然而，ESD的解決方案比尋找靜電耗散材料更復雜。因此，專家推薦了一套ESD控制程序。
可用技術(shù)
在潔凈室中可采用為靜電耗散設(shè)計的產(chǎn)品：棉簽、擦拭布、膠水、布料、墻壁材料、手腕帶、手套、工衣等。然而，靜電耗散材料也可能產(chǎn)生污染，很多由塑料或不銹鋼制作的潔凈室產(chǎn)品可能積聚或傳導電量ESD產(chǎn)品的生產(chǎn)商對于開發(fā)新型的靜電耗散材料已經(jīng)有了一定難度。IC的在變小，靜電敏感度也在增強。近三年，很多電子產(chǎn)商也開始要求更多的離子風機ESD產(chǎn)品。
找到合適的防靜電原材料有一定難度。掩光板由塑料制成，用很好的耐磨損性，低揮發(fā)物和耐化學性，是用于潔凈室的很好的材料。要找到很有透明度的原材料是困難的。添加劑和共聚物由于含有不同折射率的組成而使材料變成不透明的。而且，塑料必須具有很好的表面電阻。
靜電吸附
在潔凈室中因為存在靜電，使去除污染變得比較困難。塵粒由于靜電的作用總是容易粘到硅片上，導致產(chǎn)品損壞、優(yōu)率降低。我們最大的問題是要找到適合潔凈室使用的防靜電材料。在LCD行業(yè)，玻璃基板的變大，吸引電荷的能力也增強。由于基板的尺寸大，任何污染都可能導致優(yōu)率降低。
與其它的污染控制行業(yè)一樣，LCD行業(yè)也一直在尋找能解決ESD問題的新型材料。在潔凈室使用的材料也更可能地使用防靜電離子風機，在棉簽和抹布上也可以嘗試發(fā)現(xiàn)新材料來代替?zhèn)鹘y(tǒng)材料。
適合型
為什么潔凈室中沒有適合的ESD產(chǎn)品？在過去的3到5年里，廠商們在提供產(chǎn)品給潔凈室使用都時認識到，潔凈室中需要ESD產(chǎn)品。但是，尋找能用于潔凈室中的ESD產(chǎn)品是個問題。因為很多用于潔凈室的ESD產(chǎn)品的性能不夠穩(wěn)定。
在潔凈室中ESD控制的最大難題是人員在潔凈室中的走動。因為人穿著大量的聚酯類織物，會產(chǎn)生大量的電荷。在潔凈室中去除這種電荷唯一的辦法是接地。
在過去的五年里，人們發(fā)現(xiàn)用碳素纖維和織物混合制成的工衣系統(tǒng)能提供適用ISO5（Class100）級的潔凈室要求。
此類工衣的各個部位都具有相同的電導率，并且從頭罩到腳底都有導電連接。在潔凈室中工作的人員穿上此類衣服行走時可以通過導電的鞋底接地而不用通過接地線進行接地，這樣就不受接地線的長度限制。
此類工衣的出現(xiàn)是對產(chǎn)品的高要求的結(jié)果，有助于降低潔凈室中由于ESD問題而引起的低收率和高壞品率。
對ESD離子風機控制沒有便宜快捷的修補方法，關(guān)鍵是對ESD的控制，比如懸掛層流離子風機，或是在需要控制ESD的材料旁安裝離子風機。隨著芯片（IC）尺寸的減少，對ESD越發(fā)敏感?，F(xiàn)在，對ESD的控制已不僅僅局限于對工作網(wǎng)絡的保護，還需對晶片和生產(chǎn)晶片的人員進行控制。很多高標準要求的公司正在這樣對ESD進行控制。
